XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy),又称ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis),是利用X射线入射样品表面，探测样品表面出射的光电子,来获得表面组成及化学态信息的一种表面分析方法。XPS可对元素成分进行定性定量分析,同时通过微聚焦扫描技术可以实现微米级空间分辨能力，因此广泛应用于科学研究和高科技产业等领域，包括材料科学、能源科学、半导体器件、微电子器件以及表面处理和表面异常检测等。