硬X射线光电子能谱（HAXPES）是一种先进的表面分析技术，主要用于研究固体样品的表面电子结构和化学态。HAXPES利用高能X射线（例如CrKα射线，能量为5414.7eV）激发样品表面的电子。通过测量这些电子的能量分布，能够获得关于样品表面的化学成分和电子结构的详细信息。与传统的XPS（软X射线光电子能谱）相比，HAXPES具有更深的探测深度，通常可达约30nm，适用于多层薄膜、半导体光电器件等样品的无损深度分析。
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